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三对甲苯基氯化锍

三对甲苯基氯化锍

  • 产品编号 : SC124824
  • 化学名称 : Tri-P-tolylsulfonium chloride
  • Cas号 : 47197-43-3
  • 分子式 : N/A
  • 分子量 : N/A
  • 纯度 : NLT 98%
  • 类别 : 光刻胶
产品详情

绍兴中磊新材料有限公司可以提供产品三对甲苯基氯化锍 | CAS 47197-43-3 | Tri-P-tolylsulfonium chloride,从克到吨位级数量,它的分子式是, 分子量是g/mol,常规纯度为 NLT 98%。

该化合物的核心电子性状在于其作为三芳基锍盐类光酸产生剂的典型特性。其分子结构中的锍阳离子中心连接三个对甲苯基,在吸收足够能量的光子(如紫外光)后,会发生高效的光解反应,导致S-C键均裂或异裂,最终释放出强质子酸(HCl)。三个甲苯基的供电子效应和分子对称性,有助于稳定锍盐的阳离子中心,使其在黑暗环境中具备良好的热稳定性与储存稳定性,同时在光照时又能维持较高的光敏性和产酸效率。

在电子应用领域,该化合物主要作为化学放大型光刻胶的关键组分——光酸产生剂使用,尤其适用于早期的集成电路制造工艺,如i-line(365纳米)光刻。在曝光过程中,它产生的强酸在后续的烘烤步骤中能催化光刻胶树脂发生催化性反应(如脱保护或交联),极大地放大"光信号",从而在显影后形成具有高分辨率的电路图形。其相对经典的结构为后续性能更优的锍盐PAG开发奠定了基础。

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